Specification

Parameter

Travel

32 mm

Encoder type

Optical encoder（1Vpp）

Resolution

1 - 5nm

Effective minimum displacement

50nm(-S format accuracy 20nm)

Repeatability accuracy

±100nm （-S format accuracy ±50nm ，）

Rated pushing force

5N

Peak push and pull force

16N

Max speed

200mm/s

Acceleration（no load）

4G

Load in horizontal

4KG

Motor drive form

Special tiling linear motor

Guide rail

Cross Roller Guide

Size

122mm x 92mm x 18mm

Length of cable

3m

Material

Aluminum alloy (optional stainless steel)

Driver interface

USB; Dual RJ45 100Mbps EtherCAT