|
Models |
S-Closed loop K-Open loop |
P33.T2S P33.T2K |
P33.T3S P33.T3K |
P33.T4S P33.T4K |
P33.T5S P33.T5K |
P33.T6S P33.T6K |
P33.T8S P33.T8K |
Units |
|
Active axes |
θx, θy |
θx, θy |
θx, θy |
θx, θy |
θx, θy |
θx, θy | ||
|
Travel range(0~120V) |
2.5（≈520"） /±1.25(≈±260") |
4（≈820"） /±2(≈±410") |
5（≈1030"） /±2.5(≈±520") |
6.8（≈1400"） /±3.4(≈±700") |
7.5（≈1550"） /±3.75(≈±770") |
10（≈2060"） /±5(≈±1030") |
mrad±20% | |
|
Travel range(0~150V) |
3（≈600"） /±1.5(≈±300") |
5（≈1000"） /±2.5(≈±500") |
6（≈1200"） /±3(≈±600") |
8.5（≈1700"） /±4.25(≈±850") |
9（≈1900"） /±4.5(≈±950") |
12.5（≈2500"） /±6.25(≈±1250") |
mrad±20% | |
|
Integrated sensor |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- | ||
|
Closed/open loop resolution |
0.05(≈0.01") 0.02(＜0.01") |
0.15(≈0.03") 0.05(≈0.01") |
0.25(≈0.05") 0.1(≈0.02") |
0.35(≈0.07") 0.12(≈0.02") |
0.45(≈0.09") 0.15(≈0.03") |
0.5(≈0.1") 0.2(≈0.04") |
μrad | |
|
Closed-loop linearity |
0.1/- |
0.15/- |
0.2/- |
0.25/- |
0.25/- |
0.25/- |
%F.S. | |
|
Repeatability |
0.02/- |
0.02/- |
0.02/- |
0.02/- |
0.02/- |
0.02/- |
%F.S. | |
|
Unloaded resonant frequency |
3.7 |
3.5 |
3.4 |
3.3 |
3.2 |
3.1 |
kHz±20% | |
|
Closed/open-loop unloaded Step time |
1.5/1 |
2.5/1.5 |
3/2 |
5/2.5 |
6/3.5 |
8/4 |
ms±20% | |
|
Operating frequency |
10% Trave |
1000 |
800 |
500 |
400 |
300 |
150 |
Hz±20% |
|
100% Travel |
80 |
60 |
40 |
30 |
25 |
15 | ||
|
Electrical capacitance |
3.6/axis |
5.2/axis |
7.2/axis |
9/axis |
11/axis |
14.5/axis |
μF±20% | |
|
Material |
Steel |
Steel |
Steel |
Steel |
Steel |
Steel | ||
|
Material |
190 |
220 |
240 |
265 |
290 |
340 |
||
